株式会社マイクロフェーズグローブボックスー真空蒸着装置　真空搬送試料ホルダー

最終更新日：2020-02-13 11:10:09.0
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水分や酸素を嫌う試料に金属を真空蒸着するための、試料準備・真空搬送ホルダーです。

グローブボックスと真空蒸着装置の間に試料を大気に晒さずに真空搬送することができます。
特　徴：
・真空チャンバー構造を有する試料ホルダー
・コンパクトサイズで、グローブボックスの中に搬送可能
・グローブボックス中での真空排気が可能
・真空蒸着装置ではチャンバーの蓋が自動解放
・オプションで、試料ホルダー回転機構を追加可能

関連リンク - http://www.microphase.jp/

基本情報グローブボックスー真空蒸着装置　真空搬送試料ホルダー

【特徴】
○300mmφウェハーやA4サイズの大面積基板にも対応
○精密膜厚モニターにより、サブナノレベルの薄膜から、数百nm以上の厚膜まで成膜可能。
○小ロットも対応。

価格情報	お気軽にお問い合わせください。
価格帯	100万円 ~ 500万円
納期	お問い合わせください ※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例	●詳しくは、お問い合わせください。

お問い合わせ

取扱企業グローブボックスー真空蒸着装置　真空搬送試料ホルダー

株式会社マイクロフェーズ

◆ナノ成膜装置＝　CNT合成装置、　グラフェン成膜装置、　回転CVD炉、　ロータリキルンCVD装置、　負極材表面へのカーボンコートCVD装置、　ナノ粒子成膜装置、　真空蒸着装置など ◆ナノ材料＝　垂直配向CNT、　CNT分散液、CNT樹脂複合材料、　伸び～るCNTゴムシート、　CNT黒体、　CNT熱伝導シート、　酸化チタン／炭化チタンナノチューブなど