8inchウエハー対応用ナノインコーター(離型剤塗布装置)
本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。
処理は1ワークずつ行います。
SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103
【主仕様】
1.ストローク 250mm
2.対象サイズ 6inch、8inch
3.対象材質 ウエハー
4.ディップ速度 0.1mm/secから10mm/sec
5.塗布液循環部 有
6.塗布液温度管理 無
7.フィルターメッシュ 0.05μm
8.乾燥部 無
9.乾燥温度 無
10.ヘパユニット 有
11.装置サイズ(概寸) W:904×D:840×H:1070mm
価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | 離型処理装置(ナノインコーター:NIC-1103) |
用途/実績例 | 最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる |
カタログナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103
取扱企業ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103
ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。