株式会社ベテル ハドソン研究所 【測定分野】 薄膜 【TM3】
- 最終更新日：2011-11-10 16:02:43.0
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薄膜と微小領域の熱物性測定に。構造部材用耐熱コーティングの評価が可能
サーマルマイクロスコープ ＴＭ３は、試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱します。構造部材用の耐熱コーティングの評価が可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報【測定分野】 薄膜 【TM3】
【主な特長】
○薄膜と微小領域の熱物性測定に
○試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱
○構造部材用の耐熱コーティングの評価が可能
【その他の特長】
○超電導限流器用薄膜の熱浸透率評価（産業技術総合研究所 計測標準）
→伝熱シミュレーションに信頼できる実測値を提供可能
○熱的損傷を模擬した超電導薄膜試料の評価（産業技術総合研究所 計測標準）
→ＴＨＥＶＡ社製ＹＢＣＯ膜表面に、加工用レーザによる局部的加熱損傷を与え熱浸透率分布を測定
→加熱ダメージ部で熱浸透率の低下（２％程度）を確認
○試料表面のコーティングの評価（茨城大学工学部）
→構造部材用の耐熱コーティングの評価が可能
→超硬工具のコーティングも同様に評価可能
○半導体レーザの電極部
→絶縁層による放熱性低下を可視化
→薄膜による放熱特性の変化が把握可能
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