株式会社真空デバイス マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチ

基本情報マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチ

【主な特徴】
○マグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。
○コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。
○コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。
○標準ターゲット金属は白金(Pt)。
○イオンシャワー電極(オプション)で機能の追加。

【その他の特徴】
○シリコン基板の大型化にお応えする200mm径の大面積試料ステージをマグネトロンターゲット電極で実現。
○試料ステージの大型化で、8インチウェーハや多数のSEM用試料を同時にコーティングすることが可能で、検査作業を効率化。
○マグネトロン型電極は、ターゲット金属の表面に沿って平行な磁場を形成し、プラズマ放電によって
　 発生する電子をこの磁場に閉じこめ、雰囲気ガスのプラズマ化を促進します。

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• PDFダウンロード
• お問い合わせ

カタログマグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチ

• 

  マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－８インチ型の製品カタログ

  PDFダウンロード

取扱企業マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－８インチ

株式会社真空デバイス

○実験器具・装置の開発 ○電子顕微鏡試料作製の開発、製品化、販売、サービス

TEL・住所

• この企業の製品・サービス一覧を見る(20件)

• 公式サイト