マニュアル塗布装置/現像装置 Litho Spin Cup リソテックジャパン

研究開発用途から生産まで幅広いニーズに応えるマニュアルスピンコータ、マニュアルスピンデベロッパ

リソスピンカップシリーズは、マニュアルでありながら自動塗布/現像装置と同等のスピンユニットを採用しているため、オートディスペンサ、各種リンス、廃液自動回収、カップ排気等に標準で対応しています。簡単かつ安全に高精度なレジスト処理が行えます。
また、プライマディスペンサ、薬液温調、ファンフィルタユニット、温度/湿度コントローラなど様々なオプションをご用意しており、高度な塗布処理/現像処理が行えます。
リソテックジャパンでは、基本的にお客様が使用される塗布薬液（レジスト、ポリイミド、絶縁膜等）やウェーハサイズおよび用途に合わせて設計・製造を行い、洗練された装置のご提供を行っております。

関連リンク - https://www.ltj.co.jp/coaterdeveloper.php?eid=0000…

基本情報マニュアル塗布装置/現像装置 Litho Spin Cup

＜スピンコータ＞
■Litho Spin Cup 800C
　・0.5インチウェーハから8インチウェーハまで対応
　・オートディスペンサ、エッジリンス/バックリンス標準搭載
■Litho Spin Cup 1200C
　・最大で300mmウェーハまで対応
　・化学増幅型レジスト対応仕様

＜スピンデベロッパ＞
■Litho Spin Cup 800D
・最大8インチウェーハまで対応
・オートディスペンサ、現像リンス/バックリンス標準搭載
■Litho Spin Cup 1200D
・最大で300mmウェーハまで対応
・有機現像仕様にも対応可

価格情報	お問い合わせください
価格帯	1000万円 ~ 5000万円
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください
型番・ブランド名	Litho Spin Cup series
用途／実績例	半導体フォトリソグラフィ工程における、レジスト塗布や現像に多く採用されています。

ラインナップ

型番	概要
Litho Spin Cup 800C	8インチウェーハ対応スピン塗布装置
Litho Spin Cup 1200C	300ｍｍウェーハ対応スピン塗布装置
Litho Spin Cup 800D	8インチウェーハ対応スピン現像装置
Litho Spin Cup 1200D	300ｍｍウェーハ対応スピン現像装置