レジスト現像アナライザ　RDA-Qz3 リソテックジャパン

現像速度測定・評価装置。現像中のレジストの膨潤挙動も評価できます。

レジスト現像アナライザ　RDA-Qz3はQCM（クォーツマイクロバランス）法を用いた現像速度測定・評価装置。現像中のレジストの膨潤挙動も評価できます。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - https://www.ltj.co.jp/resist.php?eid=00001#product…

基本情報レジスト現像アナライザ　RDA-Qz3

【主な特徴】
○QCM法による現象速度測定評価
○現像中のレジストの膨張挙動が評価可能

【その他の特徴】
○現像速度の測定・解析
→Si基板、多層膜基板、Al基板、ARC上のレジストに対応
○現像特性解析
→γ値、Eth、ディスクリミネーションカーブの測定、現像コントラスト（tanθ）の算出
○正確なモデリングパラメータの決定
→現像パラメータ、拡散長、表面難溶化パラメータの決定
○データテーブルの作成とシミュレータへのデータ転送
○現像液の自動供給、排液システム
○ウェーハの自動インサート、基板サイズは4～8インチ（12インチ対応可）

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