アローズエンジニアリング株式会社 高精度ウエハークラック検査装置 「スーパーマクロSM75」
- 最終更新日：2022-08-30 11:06:21.0
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３００ｍｍウエハーでワンショット1秒で検査
高精度ウエハークラック検査装置「スーパーマクロSM75」は、３００ｍｍウエハーでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に、赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
基本情報高精度ウエハークラック検査装置 「スーパーマクロSM75」
【特長】
○自動検査可能
○スタンドアロンタイプもラインナップ
○マニュアルでの検査が可能
○任意のスライスレベルを設定可能
○ソーマーク除去機能
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
| 価格情報 | お問い合わせください。 |
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| 用途／実績例 | 【用途】 ○パターン付きウエハークラック検査 ○ベアウエハークラック検査 ○ウエハーエッジダメージ検査 ○ＢＧ研磨痕の評価 ○スラリーの評価 ○ガラス基盤の応力残り ○ストレスレリーフの評価 ○ＢＧテープのテンション検査 ○化合物ウエハーの歪みや傷検査 ○レンズや光学部品の脈離検査 ○圧力による各種ワークの応力歪 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログ高精度ウエハークラック検査装置 「スーパーマクロSM75」
取扱企業高精度ウエハークラック検査装置 「スーパーマクロSM75」
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1.半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売 2.各種半導体装置周辺機器の修理・オーバーホール 3.半導体製造装置の付帯設備工事及び保守・保全 4.中古半導体装置及び中古ユニット・中古部品の販売 5.金属機械加工・特殊樹脂加工の設計・製造・販売 6.瞬低保護装置（VoltageSagProtector）の製造販売 7.各種検査機器・顕微鏡の販売 8.工業薬品の販売
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