玉川エンジニアリング株式会社 ウェハトランスファー Wafer Transfer

25枚のウェハを、1度にキャリアやボートに移載させる装置

キャリアに挿入された25枚のウェハを、1度にキャリアやボートに移載させる装置です。※オリフラあわせ機能内蔵。異なるウェハ厚さ(275~600um)混在可能で、高速スループット25秒/回を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

基本情報ウェハトランスファー Wafer Transfer

【特長】
○抜群の使い勝手
→必要な操作は全てタッチパネルでの操作(非常停止ボタン除く)
○高メンテナンス性
→専用装置が多い半導体業界において、PLCやサーボモーター、スライダー等汎用品を用いて実現
→専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能
○低コスト
→専用装置と比べて安価なイニシャルコストで同様の機能を実現
→保守部品や交換部品も汎用品の為、ランニングコストを抑える事が可能

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カタログウェハトランスファー Wafer Transfer

取扱企業ウェハトランスファー Wafer Transfer

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・一般産業用機械器具装置の設計、施工及び監理 ・電気設備工事の設計、施工及び監理 ・発変電設備・遠隔制御装置・自動化制御機器の設計、  施工及び監理 ・ガス管、油管配管、給排水、給湯設備、冷暖房設備、  厨房設備工事の 設計、施工及び監理 ・空気調和設備の施工、監理 ・土木工事の設計、施工及び監理 ・建築工事の設計、施工及び監理 ・消防設備工事の設計、施工及び監理 ・一般産業用機械器具の設計、製作、修理及びそれらの  部品の製造 ・電気制御装置の設計、製作、修理及びそれらの部品の  製造 ・環境設備装置の設計、製作及び設置 ・用地の開発、造成、販売 ・不動産の売買、賃貸、仲介及び管理

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