【測定事例】<LED材料>窒化ガリウムGaNの熱的評価【TM3】ベテル　ハドソン研究所

青色LEDや半導体の材料で知られる窒化ガリウムを熱的に評価！！

■微小サイズ（3μm～）の粒子を評価　　■薄膜の熱伝導率を評価　　■サブミクロンオーダーでの測定が可能

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基本情報【測定事例】<LED材料>窒化ガリウムGaNの熱的評価【TM3】

窒化ガリウム（GaN）は、青色LED材料のほか、
シリコンカーバンド（SiC）と同様に、
次世代の「ワイドバンドギャップ半導体材料」として注目されています。

GaN は、Si や SiC のように単体のウエハーで作成されるわけではなく、
Si やサファイア上にエピタキシャル成長で薄膜上に作成されます。
したがって、熱伝導率を評価したい場合、薄膜状態で評価しなければなりません。

また、純度の高い結晶を作成する方法も開発されてますが、
大きさは爪の先ほどの微小サイズにとどまっているようです。

サーマルマイクロスコープTM3は、上記どちらの形状の
熱伝導率／熱浸透率測定に対応しております。

ここでは詳しい数値はご紹介できませんが、
ほぼ文献値に対応した数値が得られています。

たとえば、微小サイズだと、100μm程度の粒子の評価が可能です。
（SiC 粒子の例）
薄膜だと、サブミクロンオーダーから測定ができます。
（超伝導薄膜の例）

当社のサーマルマイクロスコープTM3は、
薄膜の熱伝導率（100nm～）、微小領域の熱浸透率（3μm～）の測定ができる装置です。

価格情報	***** 数量・測定の難易度によって価格が変動しますので、詳細はお問合せください。
納期	お問い合わせください ※数量によって納期が変動しますので、詳細はお問合せください。
型番・ブランド名	依頼測定（TM3）
用途／実績例	半導体電極部の熱物性評価