スピン洗浄装置　自動レジストスピンコータージャパンクリエイト

【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます

自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。
処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。
工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。
本機の対象ワークは、2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用します。
詳しくはお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.japancreate.co.jp/product/spincleaner1.…

基本情報スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

【特徴】
○カセットtoカセットの自動スピンコーター
○レジストをコートし、次にベーク工程も自動で実行
○処理工程はU字型に配置
○ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が可能
○工程間の搬送は多間接ロボットを採用
○対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ2"～φ5"基板に適用

【仕様】
○外形(mm)：W2000×D1500×H1750
○ローダー：1カセット収納
○センタリング：エアーシリンダー
○カップ：SUS304テフロンコート
○回転数：MAX3000rpm
○モーター：400W AC サーボモーター
○搬送機：多関節ロボット
○ハンガー：エッジクランプ方式
○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方式
○アンロード：1カセット収納

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カタログスピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

加圧RTA装置

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取扱企業スピン洗浄装置　自動レジストスピンコーター

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。