従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能に
0.5tパイレックスガラスに0.2mm角の貫通穴を複数加工し、ガラスをメッシュ状にしました。
本加工は量産向けに開発した加工技術で、数量への対応も可能です。
【特長】
○0.1ｍｍ×0.1ｍｍの多数貫通穴加工
・（例）3インチウェーハで150,000穴
○高アスペクト比（1：8～10）において貫通穴形状の選択が可能
・ストレート形状、テーパ形状に対応
○チッポングレスを実現
・Siとの陽極接合時のコンタクト性が向上
※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報クロスエッジ微細加工【ガラス基板製品】 メッシュガラス
【オプション】
●側壁面へのメタライズが可能
・光の干渉・吸収を防止
● キャビティー形状も可能
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詳細情報クロスエッジ微細加工【ガラス基板製品】 メッシュガラス
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従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能。
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従来の加工技術では“不可能”であったRのない四角穴を実現。小径・狭ピッチも可能。
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