株式会社清和光学製作所 中型タッチパネル/OLED露光装置
- 最終更新日：2012-02-29 15:14:06.0
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独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！
<特徴>
2G～3.5Gまでの水平形露光装置をラインアップしています。
搬送は、高速シャトル搬送または、ロボット搬送にて、ハイスループットで生産に寄与します。
また、見えづらいITOマーク、メタルの被ったマークに対しても、独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供します。
マスクとワークの温度制御にて、トータルピッチ±3-5μｍ
基本情報中型タッチパネル/OLED露光装置
<仕様>
適用サイズ
：370＊470、400＊500、550＊650、620＊750mm
方式 ：マスク水平
ランプハウス ：KW, 8KWのランプを採用し、高照度、±3％以内の照射分布、光の平行度も最適設計いたします。
| 価格情報 | お気軽にお問い合わせください。 |
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| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | コレクト |
| 用途／実績例 | ITOマーク、メタルの被ったマーク等のアライメント |
取扱企業中型タッチパネル/OLED露光装置
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