日本セミラボ株式会社 非接触・非破壊インプラモニター PMR-3000
- 最終更新日：2020-07-17 08:56:43.0
- 印刷用ページ
インプラ後のドーズ量モニタリングとアニール処理前後のジャンクション深度測定を非接触・非破壊で検査します。
【装置の原理】
■Generation Laserは過剰少数キャリアを発生させ、明らかなダメージが存在するところを熱します
■過剰少数キャリア勾配は屈折勾配のインデックスを形成します
■Probe Laserはジャンクション深さ、ドーズレベル、PAI深さを測定するために屈折勾配インデックスまたは表面の熱情報を利用します
■Generation Laserは2kHzに変調され、これにより、優れたS/N比を実現します
■長波長のProbe Laserはサンプルを加熱しません
基本情報非接触・非破壊インプラモニター PMR-3000
■非接触、非破壊測定
●インプラのドーズ量モニタリング
●ＰAI深さ測定
●ジャンクション深さ測定
■高感度
■高再現性、信頼性のあるオペレーション
■全自動・簡単操作
■１＆２ロードポート及びFOUPオープナー対応
■Cognex社製パターン認識システム標準装備
| 価格情報 | お気軽にお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | PMR-3000 |
| 用途／実績例 | ■非接触、非破壊測定 ●インプラのドーズ量モニタリング ●ＰAI深さ測定 ●ジャンクション深さ測定 |
取扱企業非接触・非破壊インプラモニター PMR-3000
-
-
■半導体測定装置の輸入販売及び技術サービスの提供 ■下記製品の取り扱いをしています。 分光エリプソメーター 非接触シート抵抗測定装置 DLTS測定システム ナノインデンター AFM（原子間力顕微鏡） キャリア移動度測定装置 非接触CV測定装置 ライフタイム測定装置 フォトルミネッセンス 装置仕様や価格情報などお気軽にお問い合わせください。
非接触・非破壊インプラモニター PMR-3000へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
