AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池(セル)製造用に開発された連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。
【特徴】
・156mm角/125mm角ウェハ対応
・1500枚/hの高生産性
・太陽電池用薄型ウェハ対応
【用途】
・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG)
・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG)
・固相拡散用ソース膜(BSG,PSG)/キャップ膜(NSG)
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
基本情報太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
太陽電池の生産ニーズに合致した大量生産を可能にするために、大型ディスパージョンヘッド(ガスノズル)と超高速ダブルアーム搬送機構を搭載しています。
また、太陽電池用薄ウェハ対応のため、特殊ウェハホルダー・ランプ加熱機構・多段ベルヌイチャック等を採用しました。
●装置サイズ(mm): 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H)
●ガス種: SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2)
●成膜温度: ～430℃
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | AMAX1000S |
| 用途／実績例 | 【用途】 ・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜(NSG) ・パッシベーション膜(保護膜・絶縁膜)(NSG) ・固相拡散用ソース膜(BSG,PSG)/キャップ膜(NSG) 【納入実績】 ・国内外太陽電池セルメーカー |
カタログ太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
取扱企業太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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