DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングは、プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。
【特徴】
■複雑形状のワークにも対応可能
・ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、
複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能
■潤滑性に優れる
・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる
■金属、アルミ以外に樹脂やゴムにも成膜可能
・低温での成膜が可能
■母材に追従する柔軟性を持たす成膜が可能（樹脂でも膜剥がれしにくい）
＊部品の摩擦によるライフ低減にお困りであればご相談下さい。
＊技術説明および試作にも対応致します。
＊DLC成膜装置の販売も行っております。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
基本情報DLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」
プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。
ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能です。
イオン注入を行うことで成膜イオンがワーク表面に入り込み、成膜された膜と高密着性を得ることができます。
・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる
・複雑形状のワークにも対応可能
・金属、アルミ以外に樹脂やゴムにも低温での成膜が可能
・母材に追従する柔軟性を持たす成膜が可能で、樹脂でも膜剥がれしにくい。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
| 価格情報 | ※お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ・半導体製造部品…耐摩耗性向上、金属コンタミ防止等 ・各種パッキン…摺動性、耐久性、耐薬品性の向上 ・金型、装置部品、治具など幅広い分野で実績 ※詳しくはお問い合わせ下さい。 |
カタログDLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」
取扱企業DLCコーティング, DLC装置「低温成膜」「はがれにくい」
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【関連製造部門】 ●(株)ワコム製作所 石英ガラス製品（ASM Epsilion石英部品、各種加工品）、シリコーンゴム製品、半導体装置用部品、ラッピング・ポリッシング用キャリア ●(株)トムコ ウエハ移換機、IPA蒸気乾燥装置、部品再生洗浄、部品加工 ●(株)天谷製作所 常圧CVD装置、MO-CVD装置、フォトマスク洗浄装置 【環境関連】 ソーラ用Siウエハ、セパレーター＆クリーニングシステム、ワイヤーソークーラント回収システム、酸化セリウム回収システム、スラリーリサイクルシステム、IPAリサイクルシステム、水質分析計、無機系凝集剤オイルフロック 【素材・部品関連】 コバレントマテリアル(株)製品 (石英ガラス、SiC、カーボン)、ファインセラミックス、マシナブルセラミックス、各種フィルター、その他半導体装置用消耗部品、シリコーン樹脂、耐火物、各種ヒーター関連
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