株式会社アイティ・テック オートフォーカス顕微鏡 LSAF2
- 最終更新日：2012-05-29 16:14:10.0
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ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置
ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置です。
電動XYステージでワークを移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。
検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。
基本情報オートフォーカス顕微鏡 LSAF2
【特長】
1. ローダーとの組み合わせで全自動検査にも対応できます。
2. 高精度130万画素CCDカメラで6インチ全面のカラー画像ファイル機能。
3. 登録パターンと比較検査して欠陥画像ファイルとマクロMAP表示が可能。
4. AFはガラス、ミラー、パターン面まで試料を選びません。(全体物対応型）
5. リモート操作、画像制御機能があります。
6. 欠け、線幅不良、バリ、異物付着などの欠陥パターン検査ができます。
◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。
ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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カタログオートフォーカス顕微鏡 LSAF2
取扱企業オートフォーカス顕微鏡 LSAF2
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