株式会社アイティ・テック　取扱製品一覧

特徴

1. 各種光学系に組込できるV型です。

2. ソフトで1μ以下の合焦精度でピントを自動制御します。 （詳細を見る）

ウエハチップのパターンなど高精細顕微鏡検査用AF装置です。
電動XYステージでワークを移動させても常に合焦画像でのパターンマッチング検査ができます。ファイルデータから座標を制御して検査に最適な倍率で試料高さのオートレビュー画像ファイル機能もあります。
検査後マクロMAPを表示して欠陥箇所確認ができます。 （詳細を見る）

顕微鏡や画像検査用のオートフォーカス装置です。光学系の倍率が高くなるほど映像の焦点が甘くなります。また、試料変形や移動精度でも合焦精度が低下して画像検査の精度を低下させます。オートフォーカス装置はこれらの問題を解決します。ソフト制御なので操作が簡単で±1μm以下の合焦精度で変化に追従します。

詳しくはカタログをダウンロードしてご覧下さい。 （詳細を見る）

カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。
1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スロープットを実現。
25枚の収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後、検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。 （詳細を見る）

300mmウエハの外周エッジ部断面プロファイル形状検査とエッジ部全周囲の画像欠陥検査の自動検査機です。
エッジ欠陥個所をレビュー検査して画像ファイルできます。

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ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。
検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。
新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。
検査時間は1枚に10秒と高速です。
外部通信機能でこのまま自動機に組込ができます。

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MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。
XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。
ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。

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ウエハ・マスクなど各種素材の表面の顕微鏡検査を高精度・高速に全自動検査するリアルタイムイメージング顕微鏡です。
光学顕微鏡の限界に迫るナノの解像力、高解像カラーカメラでLIVEレビューする世界最速・最高分解の自動検査顕微鏡です。

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ウエハ出荷用のスタックケース内部のウエハの枚数をケース外からカウントします。
スタック容器にパッケージしたウエハの枚数を容器の外からカウントできる検査機です。

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ウエハチップの目視モニタ検査機で最高級光学系画像を見ながらオペレーターが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実に欠陥チップを識別でき欠陥位置/カテゴリー分類/画像ファイルが確実にできる目視検査システムです。
エキスパンダリングをステージでステップ移動させチップサイズに合った最適倍率でカラーモニター検査ができます。
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ウエハ外周上面のテラス幅や端部をラインカメラで計測や欠陥検査ができます。
セットプレートにウエハを載せるとオートアライメントと自動検査をハイスループット1枚30秒で検査します。

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ウエハー上のチップ素子欠陥を自動検査します。
顕微鏡カラーカメラとオートステージをシステム制御してチップ素子単位での欠陥識別検査を自動でします。

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シリコンインゴットを切断するワイヤカット機のローラー溝形状非接触測定機です。
断面投影法でローラー外周部の溝形状をラインカメラ移動で撮影して60秒で全溝データを測定します。

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サファイアウェハの傷、異物欠陥の高速自動検査機です。
ダブルカセット式でロード/検査/アンロードをタクト30秒枚で検査します。

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半導体ウエハなど赤外透過材料の内部欠陥を非破壊で可視画像と赤外画像を同時にモニタ検査と上下のパターンズレや内部欠陥の検査ができます。
TSV貫通電極や積層ウエハの表面を可視でモニタとIRフォーカス調整でウエハ内部を同時モニタできます。

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ポータブル溝形状測定機　型式　MRI-1500は、ワイヤ切断機のメインローラー溝形状検査とワイヤ実装ローラーの溝検査です。
ローラーに検査機を載せ溝形形状プロファイルの高精度カメラ表示と形状の画像測定検査ができます。

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微小スポット露光顕微鏡はマスク欠陥の高精度レビュー検査顕微鏡で画面の微小領域にスリット露光できるスポット顕微鏡です。
レジストを塗布したマスクをステージに載せ欠陥検査機のデータから欠陥位置を自動再現してXYスリットで露光範囲を決め水銀スペクトルをタイマー露光するスポット照射顕微鏡です。

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パネル電極検査機は、パネル製造ラインで搬送基板のG電極線の断線/半断線を検査します。
搬送機にブリッジを立てて上部から2箇所、両側に高速ラインカメラと光学系で300mm/秒で動く大型パネルの電極線を5μm分解で検査します。

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「表裏面外観検査装置」は、インライン用の基板外観検査機です。
検査基板の上下に取り付けて走行基板をセンサで検出してラインカメラで外観検査をします。
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ＦＰＤパネル検査用の顕微鏡です。
ガラスステージ上にパネルを載せて手元ハンドルでＸＹにスライド移動と微動ハンドルで位置決めできます。
デジタルカウンタで移動量を１μmで読取、目視検査とモニター検査ができ検査画像のファイルもできます。
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最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。
延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。
顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は
ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。
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大型基板を検査する検査用顕微鏡です。
大型基板をステージに載せて移動して顕微鏡検査が出来ます。
移動量をデジタルカウンタに表示して、線幅や位置測定ができます。
手動型はハーフナット式でフリー移動とハンドル微動式です。
電動型はステッピング駆動がリモートでできます。
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ＰＥＴフィルム上のＩＴＯ膜の外観検査装置です。
ハレーション光学系でＩＴＯ膜の有無を明瞭に観察でき、操作が簡単です。
指定座標への光学系移動と撮像・計測をシステム制御します。
画像オートフォーカ機能もあります。
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被検物の表裏両面の像を顕微鏡の視野内で重ね合わせ、そのズレ量を比較観察し、
メジャーリングシステムで測定できる顕微鏡です。
対物レンズは観察倍率50倍から1000倍まで5種類で多種多様な試料に対応できます。
NIR可視/赤外透過タイプ。
カメラ位置合成装置もあります。
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ターゲットの左右ラインの画像検出とZ軸自動制御で半自動に高精度測定ができます。
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垂直整流された上昇空気と軸流FANで外周圧の高い２層流でつくり内部ポケット部に雨粒を浮かします。
大きさや複数浮かし空中バトルや合体・分解裂実験ができます。
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標準のガラススケールです。
15倍ルーペが付属しています。
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多様化する産業界の各種製品のパネル基板やフィルム、半導体部品の
微少欠陥を最新のラインセンサ外観検査システムで検査します。
最新の光アライアンス技術によりメカニカル・オプチカル・画像処理を融合し、
独自な高速/高精度検査機を提案します。
この外観検査機はミクロからマクロまでの検査ユニットを搭載して各種検査への
対応と、複合機能で検査とレビューや加工、調整などのユニットを目的に合わせて
構築することができます。
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