ウルトラマイクロスコープアイティ・テック

オートフォーカスでワークの厚みや反りにジャストフォーカスで検査します！

ウエハ・マスクなど各種素材の表面の顕微鏡検査を高精度・高速に全自動検査するリアルタイムイメージング顕微鏡です。
光学顕微鏡の限界に迫るナノの解像力、高解像カラーカメラでLIVEレビューする世界最速・最高分解の自動検査顕微鏡です。

詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

関連リンク - http://www.ittec.co.jp/filename62.html

基本情報ウルトラマイクロスコープ

【特長】
1. オートフォーカスでワークの厚みや反りにジャストフォーカスで検査します。

2. 検査ワークの形状を画像識別して検査エリアや検査条件を設定できます。

3. Dalsaラインカメラが高速/高解像で全面スキャンして欠陥をマップ表示します。

4. 欠陥画像レビューとカラーカメラ欠陥位置を再現してライブ検査ができます。

5. 欠陥検査以外にパティクル検査やパターン検査に対応します。

◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。
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