株式会社アイティ・テック ウエハエッジ検査機 WEG3000
- 最終更新日：2012-05-29 16:37:03.0
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トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現！
300mmウエハの外周エッジ部断面プロファイル形状検査とエッジ部全周囲の画像欠陥検査の自動検査機です。
エッジ欠陥個所をレビュー検査して画像ファイルできます。
詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
基本情報ウエハエッジ検査機 WEG3000
【特長】
1. エッジ部3面の同時検査可能
2. 欠陥と異物の識別機能
3. トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現
4. オリフラ部を含めた全集検査が可能
5. ウエハ全周撮像と欠陥部レビューファイル機能
◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。
ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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カタログウエハエッジ検査機 WEG3000
取扱企業ウエハエッジ検査機 WEG3000
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