電荷を持たない中性ビームを生成。 英国オックスフォードアルライドリサーチ社製
ビームを中性化することで、これまで電荷粒子が問題になっていた誘電体や半導体への照射やエッチングプロセスにも最適です。
≪用途≫
■成膜前の基盤クリーニング
■常温接合前のサンプルクリーニング、表面の活性化
■半導体基板等のエッチング
■微細加工
■リアクティブアトムビームエッチング
≪特長≫
■電荷を持ったイオンによる衝撃と異なり、絶縁物や半導体試料にもチャージダメージなし
■ビームが電荷を持たないので、電場や磁場中でも曲がらず直進します
基本情報サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース
ＡｒやＸｅのような不活性ガスによる基板のクリーニング、スパッタエッチング、常温接合などに利用出来ます。
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カタログサドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース
取扱企業サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース
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【自社開発真空部品事業】 オリジナル商品事業 自社開発商品(NW継ぎ手、フレキ関連他) オリジナル加工事業 国内・・・試作／開発製品の生産 海外・・・量産／原価低減製品の生産 【真空科学・研究用機器事業】 海外販売代理店業務 英国：oxford applied research社(VSW‐Atomtech社) 表面科学・ナノサイエンス研究機器メーカー 国内販売代理店業務 株式会社ユーテック (真空製膜装置製造メーカー) 株式会社アールバキュームラボ (電子導入端子／宇宙開発／超高真空／研究開発メーカー) 入江工研株式会社 (金属ベローズ／大型ゲートバルブを得意とする真空部品メーカー)
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