株式会社島川製作所乾燥　クリーンオーブン　最高250℃　清浄度クラス100

半導体、液晶、電子部品、精密器具等、無塵環境での乾燥に最適

耐熱HEPAフィルターを使用し、最高温度250℃で清浄度クラス100の槽内清浄度を保ちます。
インバータ、槽内スリッタ等により風速分布を均一化し、高精度の温度分布を実現しました。

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用途／実績例	半導体、液晶、電子部品、精密器具等、無塵環境での乾燥、熱処理。