株式会社ファインディバイス 大型ガントリータイプXYステージ
- 最終更新日:2012-09-28 19:42:54.0
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ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。
0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、
高速位置決め静停時間をミニマイズ。
露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。
※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
基本情報大型ガントリータイプXYステージ
【超精密加工用ステージ】
製品に非接触で加工するレーザーによる超高速な微細加工は、エレクトロニクス産業や自動車操業を始めとして、様々な用途に応用されています。
そこにはファインディバイスのコア技術であるレーザー加工技術、光学技術とナノオーダーの超精密ステージが活躍しています。
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