オールステンレスのクリーンルーム対応の保管庫です。
クリーン設備機器関連製品 レチクル保管庫は、レチクル保持具に、耐摩耗性に優れた超高分子ポリエチレンを使用しています。背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。レチクルケースの形状に合わせて、保持具は製作いたします。外形寸法はW1140×D673×H1430mm、一室間口はW510×H330mm、収納枚数は60枚です。フィルターはクリーンモジュールユニット1台で、集塵効率は99.99％以上 0.3μmです。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報クリーン設備機器関連製品 レチクル保管庫【特注事例】
【特徴】
○レチクル保持具に、耐摩耗性に優れた超高分子ポリエチレンを使用
○背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態
○レチクルケースの形状に合わせて、保持具は製作いたします。
【仕様】
○外形寸法：W1140×D673×H1430 mm
○一室間口：W510×H330 mm
○収納枚数：60枚
○フィルター：クリーンモジュールユニット1台
○集塵効率：99.99％以上 0.3μm
○風量：3.4/4.5m3/min
○本体材質：SUS304ミガキ
○前面：帯電防止PET
○保持具：超高分子ポリエチレン
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カタログクリーン設備機器関連製品 レチクル保管庫【特注事例】
取扱企業クリーン設備機器関連製品 レチクル保管庫【特注事例】
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