マスフローコントローラ『Aera PI-980』ＩＢＳ

次世代PI技術！圧力の影響を受けにくいIGS方式対応のマスフローコントローラ

『Aera PI-980』は、次世代の半導体製造プロセスに対する需要拡大を
予期して開発されたプレッシャーインセンシティブタイプのマスフロー
コントローラです。

優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、
生産歩留まりを改善します。

また、実ガスによる精度検証済みで、マルチガス・マルチレンジにも
対応します。

【特長】
■プレッシャーインセンシティブ（圧力の影響を受けにくい）制御が可能
■高い計測精度と再現性
■IGS方式対応
■実ガスによる精度検証済み、マルチガス・マルチレンジにも対応
■フィールドでのプログラムが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報マスフローコントローラ『Aera PI-980』

【その他の特長】
■DeviceNet、RS-485、アナログコントロール
■ディスプレイ搭載
■自己診断機能内蔵
■100％メタルシール、高純度仕様

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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型番・ブランド名	PI-980
用途／実績例	【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置・燃料電池　液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品

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取扱企業マスフローコントローラ『Aera PI-980』

株式会社ＩＢＳ

流体制御機器・周辺機器の設計・製造・販売ダイアフラムポンプ、メタルベローズポンプガス発生装置（酸素、窒素、オゾン、水素）チェックバルブ、リリーフバルブ、ニードルバルブ及び圧力制御・計測機器／流量制御・計測機器／温度制御・計測機器／特殊ポンプ／分析器等、『流れ』に関わる製品を多数取り揃えております。お気軽にお問い合わせください。