THKプレシジョン株式会社 高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ
- 最終更新日：2023-05-24 09:07:49.0
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「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。
専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。
高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。
電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。
「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。
その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
基本情報高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ
【特長】
○最大100mmのロングレンジ走査
→圧電素子を用いた小型高精度のSPPAアクチュエータを駆動源として搭載し、15mm、35mmのストロークを標準で揃えています。最大100mmまで対応します。
→通常の観察やマッピング測定においては十分な移動速度10mm/secを確保し、ガイド機構に沿って広範囲な領域をスキャンすることができます。
○20nmステップの高分解能
→リニアスケールを内蔵しクローズドループ制御によって、走査範囲全域において20nmの高分解能で再現性良く位置決めが可能です。
→顕微鏡やCCDカメラなどによる観察を目的とした試料走査にはセンサ無しのオープンループとして動作させることもできます。
○RS232Cで制御が簡単
→制御インターフェースとしてRS232Cを備えており、PCと接続してすぐに動作可能です。
→移動コマンドで指定移動量を送るだけで目的の場所へ高精度に位置決めを実行します。
→ステータスやアラームを読み取ることでステージの状態をモニタすることができます。
●その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
| 価格情報 |
- 詳細はお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※納期目安 約1～1.5ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | 超音波モータステージ |
| 用途／実績例 | 【用途】 ○顕微鏡試料テーブル ○SEM／TEM試料テーブル ○分析機器試料テーブル ○ウェハマッピング測定 ○プローバステージ ○高精度アライメント ○光学部品の高精度位置決め その他詳細はお問い合わせください。 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TS1L80-015A | ＜X軸ステージ＞ストローク：15mm、分解能：20nm |
| TS1L120-035A | ＜X軸ステージ＞ストローク：35mm、分解能：20nm |
| TS2L180-015A | ＜XY軸ステージ＞ストローク：15mm、分解能20nm |
| TS1R150-360A | ＜回転ステージ＞回転角度：360°、分解能1 |
| TC1300A | 超音波モータステージ専用の制御コントローラ |
カタログ高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ
取扱企業高精度位置決めステージ｜超音波モーターステージ
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圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。 また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。 カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。
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