株式会社テクノポート 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です!

PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。
6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bitで、アナログ出力が標準装備されています。標準6MHzの水晶振動子に対応し、Webで使用可能なユニットを採用しています。
また、この蒸着用モニターに使用可能な「水晶振動子」も販売しております。

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

【特長】
○6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能
○6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単
○シンプル・コンパクトはデザイン
○2台分の真空計の入力が可能
○インターフェイス:USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択可能
○シャッター
→自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bit
→アナログ出力が標準装備
○標準6MHzの水晶振動子に対応し
○Webで使用可能なユニット
○周波数のレンジ:2-6MHz
→周波数の制度は0.1Hz
○Rapid SE software と LabVIEW libraries に対応
○膜圧:0-9999000A まで設定が可能
→分解能:0.1A
○成膜時間:0-9999A/sまで設定が可能
→分解能:0.1A

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 TMC-13
用途/実績例 【用途】
○蒸着用成膜コントローラーとして。

詳しくはお問い合わせください。

カタログ蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

取扱企業蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

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株式会社テクノポート

新素子、新素材開発、基礎研究および半導体部品の製造に関わる真空機器および装置部品の輸入および販売

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