株式会社テクノポート 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」
- 最終更新日:2013-05-17 14:00:10.0
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【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です!
PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。
6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bitで、アナログ出力が標準装備されています。標準6MHzの水晶振動子に対応し、Webで使用可能なユニットを採用しています。
また、この蒸着用モニターに使用可能な「水晶振動子」も販売しております。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」
【特長】
○6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能
○6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単
○シンプル・コンパクトはデザイン
○2台分の真空計の入力が可能
○インターフェイス:USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択可能
○シャッター
→自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bit
→アナログ出力が標準装備
○標準6MHzの水晶振動子に対応し
○Webで使用可能なユニット
○周波数のレンジ:2-6MHz
→周波数の制度は0.1Hz
○Rapid SE software と LabVIEW libraries に対応
○膜圧:0-9999000A まで設定が可能
→分解能:0.1A
○成膜時間:0-9999A/sまで設定が可能
→分解能:0.1A
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | TMC-13 |
用途/実績例 | 【用途】 ○蒸着用成膜コントローラーとして。 詳しくはお問い合わせください。 |
カタログ蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」
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