株式会社テクノポート
最終更新日:2013-05-17 13:59:46.0
蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」
基本情報蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」
【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単です!
PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。
6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bitで、アナログ出力が標準装備されています。標準6MHzの水晶振動子に対応し、Webで使用可能なユニットを採用しています。
また、この蒸着用モニターに使用可能な「水晶振動子」も販売しております。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」
PREVAC社製 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。
6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは自動・時間・膜厚用の2系統 0.6bitで、アナログ出力が標準装備されています。標準6MHzの水晶振動子に対応し、Webで使用可能なユニットを採用しています。
また、この蒸着用モニターに使用可能な「水晶振動子」も販売しております。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 (詳細を見る)
取扱会社 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」
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