株式会社ジェーイーエル 3軸円筒座標型クリーンロボット SHR3000シリーズ
- 最終更新日:2014-10-31 15:44:24.0
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装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSHR3000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
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基本情報3軸円筒座標型クリーンロボット SHR3000シリーズ
【特徴】
○アームバリエーション:100mm、130mm、158mm、173mm、203mm
○Z軸バリエーション:200mm、300mm
○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下
○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備
○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
○動作モニタ装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相パルスモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
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カタログ3軸円筒座標型クリーンロボット SHR3000シリーズ
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