4軸円筒座標型クリーンロボット　MTCR4000シリーズジェーイーエル

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

スーパークリーンルーム用300mm対応MTCR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報4軸円筒座標型クリーンロボット　MTCR4000シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:160mm
○Z軸バリエーション:300mm
○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下
○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮
○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸ACサーボモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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