株式会社ジェーイーエル光学式アライナ　SAL38C2/SAL3361シリーズ

最終更新日：2014-10-31 14:28:16.0
印刷用ページ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応

光学式アライナ　SAL38C2/SAL3361シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を実現しました。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報光学式アライナ　SAL38C2/SAL3361シリーズ

【特徴】
○半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応
○シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
○クリーン対応:スピンドル側に0.1μmのフィルタ装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を実現

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

価格情報	お問い合わせ下さい。
納期	お問い合わせください ※お問い合わせ下さい。
用途／実績例	●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。