光学式アライナ　SAL46C6シリーズジェーイーエル

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

150mm～300mm対応光学式アライナ　SAL46C6シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。
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基本情報光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

【仕様】
○被搬送物　SEMI規格　150～300mmシリコンウエハ
○位置決め時間　センタリング：3sec
○位置決め制度
→センタリング：±0.1mm以内
→オリフラ（ノッチ）ロケート：±0.1°以内
○センサ　可視光半導体レーザーセンサ
○サイズ切替　コマンド制御による切替または通信
○クリーン度　0.1μm/cf　クラス1（駆動部排気時）
○駆動方式
→2相ステッピングモータ4軸使用
→モータドライバ・コントローラ内臓
○電源/真空　DC24V±10％　3A/-53kPa以上

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