光学式アライナ　SAL3261GRシリーズジェーイーエル

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です。ウェーハ端面を検出するタイプのセンサを搭載し、シリコン、透明、半透明ガラス、ガリ砒素、サファイヤウェーハ等のアライメントが可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

【特徴】
○2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能
○ウェーハ端面を検出するタイプのセンサを搭載
→シリコン、透明、半透明ガラス、サファイヤウェーハ等のアライメントが可能
○オプションでウェーハ持ち直し動作を行うためのZ軸ユニットを準備
○スピンドルのウェーハ接触部はPEEK材、Oリング(特殊フッ素ゴム)を採用
○その他、ウェーハ形状に合わせカスタマイズ

【仕様】
○被搬送物：2インチ,3インチ,100～150mmウェーハ
　第一オリフラ、ノッチ仕様無処理品
○位置決め精度：センタリング:±0.2mm以内　オリフラロケート:±0.2度以内
○位置決め時間：ノッチサーチ 3秒以内(持ち直し動作無しの場合)
○センサ：可視半導体レーザーセンサ
○クリーン度：ISO Class2 (ISO14644)
○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ内蔵
○ユーティリティ：電源:DC24V 3A 　真空:-53kPa以上

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