300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズジェーイーエル

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。シリコンウェーハのセンタリングとノッチを高速、高精度に位置決めし、薄物ウェーハのアライメントを実現します。薄物、反り、フィルム貼りに対応しますが、ワーク検出可否、位置決め精度につきましてはお問い合せ下さい。ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメントが可能です。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズ

【特徴】
○シリコンウェーハのセンタリングとノッチを高速、高精度に位置決め
○薄物ウェーハのアライメントを実現
○薄物、反り、フィルム貼りに対応
→ワーク検出可否、位置決め精度につきましてはお問い合せ下さい
○ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O

【仕様】
○被搬送物：300mmシリコンウェーハ、薄物300mmウェーハ
○位置決め時間：センタリング:4sec
○位置決め精度：センタリング:±0.1mm以内 (300mmシリコンウェーハの場合)
　ノッチロケート:±0.1度 (300mmシリコンウェーハの場合)
○センサ：可視半導体レーザーセンサ
○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時)
○駆動方式：2相ステッピングモータ3軸使用　モータドライバ、コントローラ内臓
○ユーティリティ：電源：DC24V 2A
→使用流用量：60～120NL/min (クリーンエア) 正圧：0.5MPa以下

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