ジェーイーエル　ソーターシステムジェーイーエル

アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。

ソーターシステムは、SEMI Standardに準拠(E15.1-0600,E57-0600,E62-0999,E63-0600,E64-0600)しております。アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にし、高スループットを実現しました。IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能(表裏対応はオプション)です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報ジェーイーエル　ソーターシステム

【特徴】
○SEMI Standardに準拠
→E15.1-0600,E57-0600,E62-0999,E63-0600,E64-0600
○アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替が可能
○高スループットを実現
○IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能
→表裏対応はオプション

【仕様】
○対象キャリア：300mmFOUP（25枚）　SEMI E47.1.E62準拠品
○対象ウェーハ：300mmシリコンウェーハ　厚さ775μm
○スループット：300枚/h
○クリーン度：ISO クラス2
○外形寸法：W1250×D2500×H1900
○重量：800kgf
○ユーティリティ
→電源：AC200V±10％単相10A
→ドライエア：0.5Mpa±10％
→真空：-53kPa以上

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