株式会社ヒューブレイン ウエハ・チップ外観検査装置
- 最終更新日：2021-07-20 14:34:54.0
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「ウエハ・チップ外観検査装置 HM-256シリーズ」は、3CMOS 320万画素カラーカメラを標準採用することにより、優れた検出能力を持ち、ウエハやダイシング後にチップの外観を高速で検査できる外観検査装置です。
ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能で、多様なパターンのチップの検査が可能です。
【特長】
■品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能
■組込用顕微鏡によりサブミクロンの分解能での検査も可能（オプション）
■画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能
■一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を使用した検査が可能
※詳しくはカタログダウンロード、またはお気軽にお問い合わせ下さい
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基本情報ウエハ・チップ外観検査装置
【特長】
○ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能
○多様なパターンのチップの検査が可能
○品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能
○組込用顕微鏡を使用してサブミクロンの分解能での検査が可能（オプション）
○画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能
○一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を
使用した検査が可能
○オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備
○厚みの公差が150µmあるワークでも検査・排除可能
（高速な高さ測定、高さ補正機能付き）
○全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり（オプション）
○シート越しでの裏面検査が可能（オプション）
○NGマーキング（インカー・レーザーマーカー）、バーコード自動読み取り可能
（オプション）
○廉価タイプとしてオートローダーや排除機構を装備しないHS-256Gもあります
【詳しくはカタログダウンロード、またはお気軽にお問い合わせ下さい】
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| 用途／実績例 | 【検査対象ワーク】 ○ＬＥＤチップ、レーザーチップなど半導体チップ （チップサイズ：100µｍ～、各種パターンに対応） ○ウエハサイズ：2～8インチ（検査範囲Max 210mmの範囲内であれば可能） ○多様なリングやカセットに対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 |
カタログウエハ・チップ外観検査装置
取扱企業ウエハ・チップ外観検査装置
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・多機能画像処理エンジン Hu-Dra ・高速部品移載装置 ・バラ to トレイ外観検査装置 ・電子部品6面外観検査装置 ・トレイ外観検査装置 ・高機能卓上型外観検査装置 Hu-Cube ・通信／高周波部品、デバイスモジュール外観検査装置 ・自由角度外観検査装置 ・小型ガラスパネル外観検査装置 ・ウエハ外観検査装置（ダイシング前） ・ウエハチップ外観検査装置（ダイシング後） ・円柱型部品全面外観検査装置 ・ステレオカメラ方式 高速＋高分解能3D検査システム ・計数機 ・容器外面印刷検査システム ・容器内面検査システム ・シリンジ検査装置 ・Lib極板外観検査装置 ・太陽電池セル外観検査装置 ・ペレット・パウダ異物検査装置 ・切削工具検査装置 ・シート外観検査システム 等
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