直径は３０ｍｍ程度～8インチまで、高ライフタイム・低酸素・低炭素が特徴で、1万Ωを超えるような超高抵抗ウェーハの対応も可能です。
センサー用FZウェーハは、パーティクル検査機・IR検査機等に、ハイパワーデバイス用FZウェーハは、サイリスター・IGBT等に、中耐圧用FZウェーハは、IGBT･ダイオード等に利用されています。
＊Prime Grade FZ ingot（即納可能）
納品時には実測値の入ったメーカーのCofCをおつけします。
ウェーハへの加工も可能です。
仕様）
仕上げ: as ground
方位: (1-1-1) ± 2 deg.
直径(mm) : 101,60 ± 0,20
Ingot length (mm) : 200 - 400
第一OF(mm) : 30,5 - 34,5 (1-10) +/- 1 Deg.
第二OF(mm) : N.A.
タイプ：N-type
Lifetime(microsec) : 1000
抵抗値(ohm cm) 25°C. : 2032±700,00
RRV [%] : N.A.
＊在庫は複数本ございます。
基本情報直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能 高抵抗FZウェーハ
【特徴】
○直径3０ｍｍ程度～8インチ対応可能
○10オーム程度から1万Ωを超えるような超高抵抗まで様々に対応可能
○高ライフタイム・低酸素・低炭素
〇赤外線用ウインドウ, フィルター, レンズなども対応可能
〇抵抗帯により太陽電池用途などにも用いられます。
[センサー用高抵抗ＦＺウェーハ]
○パーティクル検査機・ＩＲ検査機等に利用可能
〇数千から1万ohmを超えるような高抵抗も可能です。
〇FZ法で製造され不純物が少ない高いライフタイムが特徴です。
[ハイパワーデバイス用ＦＺウェーハ]
○サイリスター・IGBT(＞1200V)等に利用可能
○抵抗のバラつきが少ない
〇中性子照射を行っており抵抗のばらつきが非常に少なく抑えれれています。
[中耐圧用ＦＺウェーハ]
○IGBT(＞600V)・ダイオード等に利用可能
〇ガスドープで製造されています
[高耐圧用ＦＺウェーハ]
〇高耐圧のIGBTなどに使用される中性子されたシリコンウェーハになります。
〇抵抗のばらつきが少ないことが特徴です。
●詳しくはお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | 様々な仕様に対応可能ですので、お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※製品により短納期が可能です。 |
| 用途／実績例 | パワーデバイス、センサー、ディテクター等 ●詳しくはお問い合わせ下さい。 |
カタログ直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能 高抵抗FZウェーハ
取扱企業直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能 高抵抗FZウェーハ
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【主な取扱商品】 テスト・モニター用ベアウェーハ(高精度・パーティクルチェック用・COP対策品）、コインロールウェーハ、SOI、拡散ウェーハ、ＳｉＧｅ、GaAs、Ｇｅ，サファイア、石英、等。 各種加工｛成膜・グラインダー(50μm以下も可能）ダイシング・サイズダウン・パターニング・Si再生研磨加工・洗浄加工}も対応可能です。 【CZウェーハ】 ■直径は1インチ〜450mmに対応可能 ■成膜加工可能 ■テストパターン付ウェーハ(4インチ〜12インチ）も対応 ■レチクルご支給によるテストパターニング受託も対応 【FZウェーハ】 直径30mmから8インチ、0.1 ohmから10k ohm cmを超えるような高抵抗シリコンウェーハを取り扱っております。製法はノンドープ、ガスドープ、中性子照射品などがあり、高ライフタイム、低酸素・低炭素濃度が特徴です。 【用途例】 □各種試作研究開発 □半導体製造装置評価 □太陽電池ウエハ… シリコン単結晶/多結晶/合成石英の各種加工品も取り扱っております。 化合物半導体や各種電子材料も取り扱っております。
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