株式会社臺禹科機 Local Scrubber

Solar, Thin Film, Etching, Diffusion

series:Electric decomposing process exhaust, versatile and more convenient, but the temperature does not exceed 1000 ° C.

基本情報Local Scrubber

Advantage:
Pre-wet scrubber design,high removal efficiency.
Pre-heating design,high destruction efficiency.Electric heater type gas abatement system.
Perfect abatement efficiency for flammable &water soluble gases
Minimizing moisture vapor exhaust (Apply dry system)
Excellent safety interlock system
Longer maintains cycle .Simple operation and easy maintenance time.
Relatively lower operation cost(Longer life heater easy to PM)


価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Wet-Thermal-wet
用途/実績例 TSMC

取扱企業Local Scrubber

株式会社臺禹科機

IPI was established in 1990,which is the only one potential designer and manufacturer to develop and produce Local Scrubber in Taiwan.IPI’s could be stratified to the fields of semiconductor,Solar,LCD,LED,MEMS,VOCs as well as support the general ndustrial's productivity gases pollution controlled .

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