ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」アップ・テック・ジャパン

非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。
このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。
このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が大幅に短縮されます。

【特徴】
○インシトールファーストポンプをチャンバー内に設置することで
　ダウンタイムを11時間から7時間に短縮される
○既存設備に改造取付が可能
○フットプリントに影響を与えず、アップグレーディングに威力を発揮
○パーティクル特性やフィルム特性に何らネガティブな影響を与えない

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関連リンク - http://uptechjapan.com/materials.html

基本情報ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」

【特徴】
○燃結された非蒸発型ゲッター材から構成される2列のゲッターディスクと
　中央に位置する赤外線ランプから構成されている
○ランプの放射熱によりポンプは活性化し、チャンバーがベーキングされる
○ゲッター材は、真空中の活性なガスと化学反応し、その表面に取り込む
○ポンプダウンとプロセスが行われている間、
　H2,H2O,CO,CO2,N2,およびO2と反応する
○プロセス中にアルゴンが存在してもポンプの性能には影響しない
○ポンプの2列のゲッターディスクはステンレス製の遮幣板に搭載
○ポンプには2個のKタイプ熱伝対と、外部の電源と接続するための
　電線が組み込まれている

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