アップ・テック・ジャパン株式会社

室温型ガス精製器『Point-of-Use-Purifiers』

さまざまな流量に対応し、ガス供給システムの最高レベルの純度を維持します

『Point-of-Use-Purifiers』は、プロセスガス中の不純物レベルを 100PPT以下にする必要がある超高純度のアプリケーション向けに設計された 室温型ガス精製器です。 熱を加…

ガス精製フィルター『600シリーズ』

用途に合わせて柔軟に対応できるように設計されています

『600シリーズ』は室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、アンモニア、 アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた様々なガスから不純物を 除去するように設計されたガス精製フィルターです。 寿命…

ガス精製フィルター『250シリーズ』

様々なガスから不純物を除去！

『250シリーズ』は、最大流量10slpm・公称流量2.0slpmのガス精製フィルターです。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除去…

ガス精製フィルター『125シリーズ』

流量を基準とした各サイズに加えて、多種多様なバルブ形状・フィルター形状も取り揃えております

『125シリーズ』は、用途に合わせて柔軟に対応できるように設計された 室温型ガス精製器です。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除…

ガス精製フィルター『02Kシリーズ』

最大流量100slpm・公称流量20slpm！

『02Kシリーズ』は、室温型ガス精製器で、ガスに含まれる不純物を ほとんどの場合1ppb未満に除去するガス精製フィルターです。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を…

ガス精製フィルター『01Kシリーズ』

ガスに含まれる不純物がほとんどの場合、1ppb未満にまで除去されます！

『01Kシリーズ』は室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、水素、 アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた様々なガスから 不純物を除去するように設計されたガス精製フィルターです。 用途…

POUガスフィルター050シリーズ

微流量用超小型ガスフィルターです。

POUガスフィルター050は室温型ガス精製器で、窒素、希ガス、水素、アンモニア等を含めた様々なガス中から不純物を除去します。 ほとんどの場合、これらのガス中に含まれる不純物は1ppb未満にまで除去さ…

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」

非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。

ゲッターポンプ　Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウム…

有機材　アルカリ金属ディスペンサー「AlkaMax」

環境にやさしく、空気中においても安全な取扱いが可能な有機材です。

「AlkaMax」は、有機 EL 素子の量産の需要に対応するために十分なアルカリ金属を放出するように設計されました。 サエス・ゲッターズ革新開発研究所で開発されていた「AlkaMax」モデルは、独…

有機材　乾燥剤製品「DryFlex」

どのようなOLEDディスプレイ形状にも対応可能な有機材です。

「DryFlex」は、OLED用の最も薄い乾燥剤であり、高い吸着速度と薄さで最良トレードオフを提供し、その全表面は活性で、どんなディスプレイ形状にも対応する形状とサイズを完全にカスタマイズすることがで…

環境・ガス分析装置　水素質量分析器　HEMS-M

水素ガス中の不純物の測定が可能な環境・ガス分析装置です。

水素質量分析器　HEMSは、1pptレベルの検出限界を持つフルスペクトル分析器です。 この分析器は自己校正機能を備え、短いサイクルタイムで、オンラインの不純物モニターとしてご使用いただけます。 コ…

環境・ガス分析装置　Peak Performer 1「PDD」

ガス中の微量N2またはArの測定が可能な環境・ガス分析装置です。

Peak Performer 1「PDD」は、高感度のパルスディスチャージ方式を採用し、UHPのプロセスガスの用途のために開発されました。 このPDDは操作が簡単で、高性能に不純物をppbレベルまで…

環境・ガス分析装置　Peak Performer 1「FID」

ガス中の微量H2、C2O2、NMHCの測定が可能な環境・ガス分析装置です。

Peak Performer 1「FID」は、高感度水素炎イオン化検出器(FID:Flame Ionization Detector)を使用しております。 このFIDはUHPガスにおけるプロセス用途…

環境・ガス分析装置　Peak Performer 1「RCP」

化合物低減フォトメータを用い気体中の不純物をppbレベルで測定します。

Peak Performer 1は、化合物低減フォトメータ(Reducing Compound Photometer:RCP)を用い気体中の不純物をppbレベルで測定します。 この方式の測定値は広範…