アップ・テック・ジャパン株式会社 ガス精製フィルター『125シリーズ』
- 最終更新日:2020-06-15 17:05:40.0
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流量を基準とした各サイズに加えて、多種多様なバルブ形状・フィルター形状も取り揃えております
『125シリーズ』は、用途に合わせて柔軟に対応できるように設計された
室温型ガス精製器です。
窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた
様々なガスから不純物を除去。ほとんどの場合、ガスに含まれる不純物は
1ppb未満にまで除去されます。
【特長】
■寿命
・公称流量で標準的な5N5(99.9995%)のガスを基準として約1年
※具体的な寿命についてはお問い合わせください
■最大流量:5slpm
■公称流量:1slpm
■最大圧力:0.97MPa(200psig)
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報ガス精製フィルター『125シリーズ』
【仕様】
■材質:本体316L ステンレス製
■フィルター
・内蔵型メタルフィルター 標準:0.1μm オプション:0.003μm
■バルブ:オプション ※ご注文時にご確認ください。
■温度定格:40℃
■電解研磨:有
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
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