アップ・テック・ジャパン株式会社 ガス精製フィルター『250シリーズ』
- 最終更新日:2020-06-15 17:11:32.0
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様々なガスから不純物を除去!
『250シリーズ』は、最大流量10slpm・公称流量2.0slpmのガス精製フィルターです。
窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた
様々なガスから不純物を除去するように設計されています。
ガスに含まれる不純物はほとんどの場合、1ppb未満にまで除去されます。
【特長】
■用途に合わせて柔軟に対応できるように設計
■流量を基準とした各サイズに加えて多種多様なバルブ形状
およびフィルター形状も取り揃え
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報ガス精製フィルター『250シリーズ』
【仕様】
■最大流量:10slpm(150psig時の理論値) with FP
■公称流量:2.0slpm
■材質:本体316L ステンレス製
■フィルター
・内蔵型メタルフィルター 標準:0.1μm オプション:0.003μm
■バルブ:オプション ※ご注文時にご確認ください。
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。 |
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