太陽電池製造装置向け　複合材料MMC 日本ファインセラミックス

セラミックスを超える高熱伝導！シリコン並みの低熱膨張を実現！

SiCセラミックスと金属シリコンを複合することにより、セラミックスを超える高熱伝導とシリコン並みの低熱膨張を実現しました。
SiCやAlNを超える熱伝導率！
複合比率を変更することにより、さまざまな特性を実現できます。
表面処理（めっき）が可能で、静電チャックにも使用可能です。
セラミックスよりも大型化が可能です。

SiCとアルミの組み合わせもラインナップしてます。

●●●詳しくはPDFカタログを参照ください。●●●

基本情報太陽電池製造装置向け　複合材料MMC

SiCとシリコンの複合材料
製品名　SS501～SS702　SiC比率50～75％

SiCとアルミの複合材料
製品名　SA301～SA701　SiC比率30～70％

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	SS501,SS701,SS702,SA301,SA401,SA701
用途／実績例	太陽電池製造装置用サセプター、セッター、トレイ、大型枠（額縁形状）

カタログ太陽電池製造装置向け　複合材料MMC

取扱企業太陽電池製造装置向け　複合材料MMC

日本ファインセラミックス株式会社

【エレクトロニクセラミックス】セラミックスの電気的特性を生かした各種電気・電子基板、薄膜集積回路、高品位アルミナ基板、マイクロ波用誘電体基板、ジルコニア基板（セラフレックス）【エンジニアリングセラミックス】各種エンジニアリングセラミックス製品、ポンプ・シール用摺動部品、半導体・LED・液晶製造装置用部品、精密機械用部品、耐薬・耐熱・耐磨耗各種部品、医療用機器部品　他材質：炭化ケイ素、窒化ケイ素、アルミナ、ジルコニア【金属セラミックス複合材料（ＭＭＣ）】複合材料の軽量かつ高剛性、振動減衰性を生かした各種精密機器部品、半導体製造装置・検査装置、液晶製造装置・検査装置、マウンター・ボンダー用部品、パワーデバイス用放熱板　他