KME-70は単原子層薄膜作成用に設計された、小型の簡易型蒸着源です。
ロッド状材料もしくはルツボに導入した材料を電子ビームで加熱するため、高融点材料の蒸着が可能です。
シンプルな設計となっており、研究開発用途におすすめな製品です。
【特徴】
○シンプルな設計で簡便性を重視
○フラックスレートモニタリング用電極付
○手動式シャッター機構を標準装備
○ロッド状材料とルツボのどちらも設置可能
○材料は移動機構機構により位置調整が可能
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基本情報超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」
【仕様】
○取付フランジ ICF-70
○試料印加電圧 1.5kV～2kV（標準）
○蒸着可能な材料例 Fe, Co, Ni, Nb, Pt
○材料移動調整距離 25mm
○ベーキング温度 200℃
○シャッター駆動 回転（手動）
○T-S間距離 150mm（標準）
○参考蒸着レート 0.5Å/s
溶融材料用ルツボ（オプション）
○試料 フィラメント印加電源（オプション）
イオン電流測定用電流計（オプション）
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カタログ超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」
取扱企業超高真空対応小型電子ビーム蒸着源 「KME-70」
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最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他） 《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ） （化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ） 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）
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