処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」
処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」 http://www.ipros.jp/public/product/image/75f/2000196680/IPROS7203952293574271931.jpg 【掲載内容】 ◆自動エッチング装置 枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。 ◆自動基板用現像装置 枚葉式の基板自動現像装置です。現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。又現像方式はスプレー式とパドル式の選択ができます。基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。 ◆自動ウエハレジスト塗布装置 枚葉式の自動レジスト塗布装置です。レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行います。又レジストの他接着剤の塗布、保護膜の塗布などにも使用できます。ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。 ※詳細はお問い合わせください。 ジャパンクリエイト株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > ウエハ加工/研磨装置
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基本情報処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

【掲載内容】
◆自動エッチング装置
枚葉式のウエハ自動エッチング装置です。ウエハ搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。

◆自動基板用現像装置
枚葉式の基板自動現像装置です。現像液は電子冷熱器により常に一定温度に保たれウエハにスプレーし高精度の現像処理を行います。又現像方式はスプレー式とパドル式の選択ができます。基板搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。

◆自動ウエハレジスト塗布装置
枚葉式の自動レジスト塗布装置です。レジスト塗布は粘度に応じた高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行います。又レジストの他接着剤の塗布、保護膜の塗布などにも使用できます。ウエハの搬送は装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しローダー、アンローダーはFOUP又はカセット式が有ります。

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よく使用される業種

産業用機械、ロボット、食品機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、自動車・輸送機器、医療機器、製造・加工受託、その他製造、その他

カタログ処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

  • 【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
    2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログです。
    [PDF:3MB]

取扱会社処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。

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