株式会社ピー・ジェイ 小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」
- 最終更新日：2016-04-27 13:01:28.0
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最大1,000lpmまでの流量を確保
■小型・大流量
一般的なインラインガスフィルタのサイズで、大流量濾過が可能です。
高い粒子除去性能
■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。
■優れた耐食性
フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。
※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。
基本情報小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」
濾過精度 0.003μm
常用圧力 1MPa未満
最大許容正差圧 0.7MPa(20℃)
最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃)
最高許容温度 120℃(不活性ガス)
外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下
構成部材 ハウジング：SUS316L(電解研磨処理) 内面粗度：Rmax0.5μm以下
フィルターメディア：PTFE サポート：PFA
継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他
| 価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
|---|---|
| 納期 | ~ 1ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | STF-MF1 メガフローシリーズ |
| 用途／実績例 | 半導体/PV/FPD製造装置各種ガス供給配管 半導体/PV/FPD製造工場各種ガス供給配管 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| STF-MF1-02VR・P | 1/4 |
| STF-MF1-02SW・P | 1/4 |
| STF-MF1-03SW・P | 3/8 |
| STF-MF1-04VR・P | 1/2 |
| STF-MF1-04SW・P | 1/2 |
取扱企業小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」
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(株)ピュアロンジャパン製品の販売業務 半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品の輸出入及び販売業務
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