株式会社ジェーイーエル SSY-10010プロトスワーク自動移載システム
- 最終更新日：2014-12-26 20:57:38.0
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プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました。
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載
ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応
ウェーハとプロトススペーサを自動識別
ワークの高さも自動認識
複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応
基本情報SSY-10010プロトスワーク自動移載システム
対応カセット 150mmプロトスケース, 150mmカセット
搬送物 150mmシリコンウェーハ, プロトススペーサ（挿間紙）
ワークサイズ、プロトス数、カセット数、アライナ付等、各種対応致します。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置など |
取扱企業SSY-10010プロトスワーク自動移載システム
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電子機器製造販売
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