SSY-21000カセット搬送システムジェーイーエル

基本情報SSY-21000カセット搬送システム

被搬送物（※1） 200mmウェーハ用オープンカセット（25段）
動作範囲アーム
(R軸) 上下ストローク
(Z軸) スライダストローク
(X軸) カセットチルト角度
(チルト軸)
590mm
−350mm 200mm 980mm 90度
搬送速度アーム
(R軸)※カセット未保持状態上下ストローク
(Z軸) スライダストローク
(X軸) カセットチルト角度
(チルト軸)
290mm/sec 80mm/sec 130mm/sec 40度/sec
カセット保持エア駆動によるエッジグリップ式チャックによる保持
繰り返し精度 ±0.2mm
質量システム本体約160kg（設置フレームを除く）
ユーティリティエア：カセットグリップ駆動用 0.25±0.05MPa
各ワークサイズ、カセット仕様にも各種対応致します。仕様につきましてはお問い合わせください。