株式会社ジェーイーエル 3D-01661吸着チャック
- 最終更新日：2014-12-26 21:37:22.0
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Y型の真空吸着チャックです。
ウェーハサイズ300mmの搬送に適しています。（ランダムアクセス対応）
大気環境用ロボットに多く使用され、ワークの裏面を真空吸着（負圧）により保持します。
チャック表面に導電性テフロンコーティングを施すことにより、搬送ワークを帯電による損傷および傷から防止します。
基本情報3D-01661吸着チャック
被搬送物 SEMI規格300mm 主にシリコンウェーハなど
材質 高純度アルミナセラミックス焼結体
表面処理 導電性テフロンコーティング
ウェーハ保持方式 真空吸着
全長 242mm
厚み 3mm
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置など |
取扱企業3D-01661吸着チャック
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電子機器製造販売
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