株式会社ジェーイーエル反転ユニット

最終更新日：2014-12-26 21:46:40.0
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両面処理等が必要な装置に適しています。

小型、軽量化:従来製品に対して容積50%downを実現
高速反転:従来品に対して速度20%upを実現(300mmウェーハ比)
(小型ウェーハの場合速度50%upを実現)
低振動:新開発のモータドライバと制御方式により、低振動化を実現
真空吸着、エッジクリップ、ベルヌーイ等各種ウェーハ保持方式に対応

基本情報反転ユニット

適応ウェーハ 2, 3インチ, 100～300mmウェーハ (※450mm用も別途提案可能です)
動作範囲 190度
搬送速度(平均速度) 180度/sec(300mmウェーハ)
搬送速度(最高速度) 300度/sec(300mmウェーハ)
ウェーハ保持方式真空吸着による保持、エッジクリップ、ベルヌーイの各種対応可
ユーティリティ電源 : DC24V(ロボット本体より供給)