株式会社ジェーイーエル エッジグリップチャック
- 最終更新日：2014-12-26 22:21:30.0
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裏面処理済みの接触不可のウェーハ等搬送用チャックです。
搬送時にウェーハのセンタリングが可能なため、落とし込みのステージなどへの搬送に適しています。
ウェーハの前後方向をエアシリンダによりガイドを前後させ保持します。
ウェーハの裏面を接触する事なく、ウェーハの外周を挟み保持
外周を挟む事により、ウェーハのセンタリングが可能
高速搬送が可能
ガイドの動作量によってウェーハの有無を確認
基本情報エッジグリップチャック
材質 チャック本体:セラミックス, アルミニウム, CFRP
ウェーハ接触部:PEEK
表面処理 導電性テフロンコーティング
ユーティリティ エア：エアシリンダ駆動用 0.09MPa以上（構造により異なります）
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置など |
取扱企業エッジグリップチャック
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電子機器製造販売
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